Επιτόπια παραγωγή φθορίου για ηλεκτρονικά

Αποτελεσματικότερη απόδοση καθαρισμού

Οι γεννήτριες φθορίου GENERATION F παρέχουν επιτόπια παραγωγή αερίου καθαρισμού για επεξεργασία θερμικού κλιβάνου, καθαρισμό ξηρού θαλάμου με ενισχυμένο πλάσμα και θερμικό εργαλείο CVD. Το φθόριο είναι το ιδανικό υποκατάστατο για αέρια που περιέχουν φθόριο, όπως τα μείγματα NF₃, ClF₃, SF₆ και F₂/N₂, όπου τα αδρανή συστατικά μπορούν να θέσουν σε κίνδυνο την απόδοση καθαρισμού.

Το εξαιρετικά καθαρό αέριο φθορίου που παρέχεται από τα συστήματα GENERATION F προσφέρει εξαιρετική απόδοση καθαρισμού, μικρότερους χρόνους καθαρισμού, αύξηση παραγωγικότητας σε σχέση με τα εργαλεία CVD και μειωμένη κατανάλωση ενέργειας και περιβαλλοντικές επιπτώσεις χάρη στο μηδενικό δυναμικό υπερθέρμανσης του πλανήτη (GWP).

Σε απαιτητικές διεργασίες λεπτού υμενίου, το φθόριο μπορεί να διατηρήσει σταθερές θερμοκρασίες θαλάμου κατά τη διάρκεια της διαδικασίας καθαρισμού, επιτρέποντας μια γρήγορη επιστροφή στη σταθερή επεξεργασία απόθεσης.

Η σειρά GENERATION F διατίθεται σε αρθρωτό σχεδιασμό ικανό να καλύψει όλες τις απαιτήσεις ροής, συγκέντρωσης και όγκου που κυμαίνονται από έναν τόνο έως εκατοντάδες τόνους κάθε χρόνο. Μια εγκατεστημένη βάση περισσότερων από 30 συστημάτων GENERATION F παγκοσμίως μαρτυρά την ευελιξία και τη δημοτικότητα αυτής της λύσης. Έτσι, είτε χειρίζεστε ένα μόνο εργαλείο είτε ένα εργοστάσιο μεγάλης κλίμακας, έχουμε τη λύση για εσάς.