Η εξειδικευμένη ομάδα μας μπορεί να σας πει περισσότερα σχετικά με τις δυνατότητες βελτιστοποίησης των αερίων, του εξοπλισμού και των υπηρεσιών μας
Λιθογραφικά Αέρια για Ηλεκτρονικά
Αξιόπιστος συνεργάτης για τα αέρια λιθογραφίας που χρησιμοποιούνται στα περισσότερα προϊόντα ημιαγωγών
Οι μεγάλοι παγκόσμιοι κατασκευαστές λέιζερ, stepper και σαρωτή, καθώς και πολλοί από τους μεγαλύτερους κατασκευαστές ημιαγωγών στον κόσμο βασίζονται στην υψηλότερη ποιότητα των αερίων λέιζερ και των μειγμάτων μας
Αποδεδειγμένο ιστορικό
Για πάνω από είκοσι χρόνια, η βιομηχανία excimer laser έχει βασιστεί στα αέρια λιθογραφίας μας. Χρησιμοποιήθηκαν στην ανάπτυξη των πρώτων λέιζερ για λιθογραφία και τώρα είναι τα πιο ευρέως χρησιμοποιούμενα αέρια excimer για τη φωτολιθογραφία DUV στη βιομηχανία ημιαγωγών.
Τα λέιζερ σε χιλιάδες βηματικούς και σαρωτές γκοφρέτας στον κόσμο χρησιμοποιούν τα υπερσύγχρονα αέρια λιθογραφίας και τα μείγματα αερίων μας.
Οι πελάτες μας περιλαμβάνουν μεγάλους παγκόσμιους κατασκευαστές λέιζερ, stepper και σαρωτή, καθώς και πολλούς από τους μεγαλύτερους κατασκευαστές ημιαγωγών στον κόσμο. Γνωρίζουν ότι μπορούν να βασίζονται στα αέρια λέιζερ υψηλής ποιότητας σε συνδυασμό με την εις βάθος γνώση μας για τις κρίσιμες τεχνολογίες αερίων.
Οι πελάτες μας επωφελούνται επίσης από την ανάπτυξη νέων τεχνολογιών και καινοτομιών που καθοδηγούνται από τα Κέντρα Αριστείας μας. Βασικοί τομείς εξειδίκευσης περιλαμβάνουν:
- Πλήρες φάσμα - Οδηγούμε την αγορά για την κατασκευή και τον καθαρισμό όλων των πρώτων υλών που είναι απαραίτητες για τη φωτολιθογραφία
- Τεχνογνωσία κυλίνδρων - Έχουμε αφοσιωμένη τεχνογνωσία βασισμένη στις ιδιόκτητες τεχνολογίες μας για το χειρισμό και την επεξεργασία κυλίνδρων που περιέχουν τόσο αδρανή όσο και αλογονικά (F2) αέρια
- Δυνατότητες ανάμιξης - Έχουμε πρωτοπορήσει σε πολύ συγκεκριμένες τεχνολογίες ανάμιξης για τη δημιουργία μιγμάτων πολλαπλών συστατικών που είναι εντελώς ομοιογενή
- Αναλυτικές τεχνολογίες - Έχουμε αναπτύξει ιδιόκτητες αναλυτικές τεχνολογίες που ξεπερνούν τα πρότυπα της βιομηχανίας. Όλοι οι κύλινδροι λιθογραφίας SPECTRA® είναι εφοδιασμένοι με Πιστοποιητικό Ανάλυσης
Σπάνια μείγματα αερίων και αερίων αλογόνου για λέιζερ excimer
Παρέχουμε τα μείγματα αερίων που απαιτούνται για όλο το φάσμα των excimer lasers που χρησιμοποιούνται στην κατασκευή ηλεκτρονικών.
- XeCl στα 308 nm
- KrF στα 248 nm
- ArF στα 193 nm
Υποστηρίζουμε επίσης πολλά από τα λέιζερ excimer που χρησιμοποιούνται σε εφαρμογές ανάπτυξης και μη ηλεκτρονικής.
Εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας διοξείδιο του άνθρακα για λιθογραφία εμβάπτισης
Η λιθογραφία εμβάπτισης έχει επεκτείνει σημαντικά τη δυνατή συρρίκνωση χαρακτηριστικών με steppers DUV 193 nm. Το εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας (UHP) CO2 επιτρέπει αυτή τη διαδικασία μετατοπίζοντας μέρος του αζώτου και άλλων αερίων στο στρώμα νερού εμβάπτισης που μπορεί να οδηγήσει σε φυσαλίδες που προκαλούν ελαττώματα. Το UHP CO2 διατίθεται χύμα στις περισσότερες γεωγραφικές περιοχές με προαιρετικό επιτόπιο καθαρισμό.
Χύδην λύσεις υδρογόνου για ακραία υπεριώδη λιθογραφία
Η λιθογραφία ακραίας υπεριώδους ακτινοβολίας (EUV) είναι η τεχνολογία επόμενης γενιάς που προωθεί τα σημερινά πρωτοποριακά σχέδια ημιαγωγών. Απαιτούνται μεγάλες ποσότητες υδρογόνου για τον συνεχή καθαρισμό των εμπορικών πηγών φωτός, οι οποίες χρησιμοποιούν υγρό κασσίτερο ως μέσο κοπής. Παρέχουμε ένα πλήρες χαρτοφυλάκιο χύδην και επιτόπιων λύσεων H2 για την κάλυψη της αυξανόμενης ζήτησης σε αυτόν τον τομέα.
